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中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是我国*早的工学研究机构之一。新中国成立后隶属中国科学院，曾命名中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根据科研领域和科技发展目标的调整，更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）。
在八十多年的发展进程中，上海微系统所始终围绕国家战略需求，调整科研布局，发挥了对国民经济建设的骨干引领作用。上世纪五十年代，在国内率先研制成功球墨铸铁，成功解决了包钢高含氟铁矿的冶炼和稀土元素回收。六十年代中期，发展微电子和集成电路制造技术，与工业部门合作研制出国内*块工业实用PN结隔离集成电路、ECL高速电路和国内*块8位、16位微处理器。八十年代中期，开展微电子机械系统（MEMS）和绝缘体上硅（SOI）材料研究，在国内居领先地位，并在国际上占据了重要的一席之地。
进入知识创新工程后，上海微系统所确定了电子科学与技术、信息与通信工程两大学科领域和微小卫星、无线传感网络、未来移动通信、微系统技术、信息功能材料与器件五个学科方向，形成了 系统为牵引、系统带器件、器件带材料 的创新价值链。
上海微系统所现有传感技术联合国家重点实验室/微系统技术重点实验室、信息功能材料国家重点实验室，有中科院无线传感网与通信重点实验室和中科院太赫兹固态技术重点实验室，设有传感技术、信息功能材料、太赫兹固态技术、无线传感网、物联网系统技术、宽带无线、新能源和超导八个研究室，在南京、杭州、无锡、嘉兴、南通与地方合作共建了六个分支机构，与德国亥姆霍兹国家研究中心于利希中心共建了超导与生物电子学联合实验室，与吉林大学共建了地球物理探测技术联合实验室，等。
面向 十二五 和 创新2020 ，上海微系统所确定了围绕国家战略性新兴产业，加快电子科学与技术、信息与通信工程两大学科建设，解决 感知中国 战略高技术问题，突破物联网、MEMS核心器件、高端硅基SOI材料关键技术和产业化，成为无线传感网、宽带无线通信、微系统及相关材料与器件领域不可替代、 四个一流 研究所的战略目标，为国民经济建设和国家安全做出更大贡献。